chapter 5, Large area micro/nano patterning through Top-down and bottom-up approaches (a chapter contributed to book "Ultra high precision patterning technology-Next generation micro/nano process")
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第五章，通过自上而下和自下而上的方法进行大面积微纳图案化（《超高精度图案化技术-下一代微纳工艺》一书的章节）
DOI：
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发表时间：
2006
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Kim BJ.
中科院分区：
文献类型：
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作者：
S.-K.Kim;et al.;Kim BJ.
