Atomic and electronic structure analysis of epitaxial silicon oxynitride thin film on 6H-SiC by two-dimensional photoelectron diffraction spectroscopy
Atomic and electronic structure analysis of epitaxial silicon oxynitride thin film on 6H-SiC by two-dimensional photoelectron diffraction spectroscopy
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二维光电子衍射光谱分析 6H-SiC 外延氮氧化硅薄膜的原子和电子结构
DOI：
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发表时间：
2011
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
H.Daimon
中科院分区：
文献类型：
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作者：
N.Maejima;F.Matsui;K.Goto;H.Matsui;M.Hashimoto;T.Matsushita;S.Tanaka;H.Daimon
