Measurement system for low outgassing materials by switching between two pumping paths
Measurement system for low outgassing materials by switching between two pumping paths
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通过在两个泵送路径之间切换来测量低释气材料的测量系统
DOI：
10.1016/0042-207x(96)00149-2
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发表时间：
1996
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
S. Tsukahara
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Kazuya Saito;Yukie Sato;S. Inayoshi;S. Tsukahara
