大電力パルススパッタを用いた薄膜堆積と微小電子源陰極作製
大電力パルススパッタを用いた薄膜堆積と微小電子源陰極作製
复制标题
使用高功率脉冲溅射的薄膜沉积和微电子源阴极制造
DOI：
--
复制
发表时间：
2015
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
中野武雄
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
齋藤悠大;門井裕樹;板村賢明;中野武雄;中野武雄
