Development of MEMS fabrication technique for high-sensitive cantilever ESR
Development of MEMS fabrication technique for high-sensitive cantilever ESR
复制标题
高灵敏度悬臂梁ESR MEMS制造技术开发
DOI：
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发表时间：
2009
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
H.Ohta
中科院分区：
文献类型：
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作者：
K.Konishi;E.Ohmichi;H.Ohta
