鉾井耕司: "C_7F_<16>プラズマCVDにより堆積したフロロカーボン膜の電気的特性"第37回応用物理学会北海道支部・第7回レーザー学会東北・北海道支部合同学術講演会. A-24. (2002)
鉾井耕司: "C_7F_<16>プラズマCVDにより堆積したフロロカーボン膜の電気的特性"第37回応用物理学会北海道支部・第7回レーザー学会東北・北海道支部合同学術講演会. A-24. (2002)
复制标题
Koji Hokoi：“C_7F_<16>通过等离子体CVD沉积的氟碳膜的电特性”第37届日本应用物理学会北海道分会/第7届激光学会东北/北海道分会联合学术会议（2002年）。
DOI：
--
复制
发表时间：
--
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
