Elucidation of ALD MgZnO deposition processes using low energy ion scattering
Elucidation of ALD MgZnO deposition processes using low energy ion scattering
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使用低能离子散射阐明 ALD MgZnO 沉积过程
DOI：
10.1116/1.5015958
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发表时间：
2018
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Werner M
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Werner M
