Low-loss Waveguide Fabrication in III-V/SOI Hybrid Integration using Plasma Activated Bonding
Low-loss Waveguide Fabrication in III-V/SOI Hybrid Integration using Plasma Activated Bonding
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使用等离子体激活键合在 III-V/SOI 混合集成中制造低损耗波导
DOI：
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发表时间：
2015
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
and Shigehisa Arai
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Junichi Suzuki;Yusuke Hayashi;Yuki Kuno;Tomohiro Amemiya;Nobuhiko Nishiyama;and Shigehisa Arai
