静圧軸受エアステージ駆動のためのサーボ弁特性を考慮した目標軌道生成法
静圧軸受エアステージ駆動のためのサーボ弁特性を考慮した目標軌道生成法
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考虑伺服阀特性的静压轴承气级驱动目标轨迹生成方法
DOI：
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发表时间：
2017
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
直井誠，藤田壽憲
中科院分区：
文献类型：
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作者：
金澤 直弥，藤田壽憲;直井誠，藤田壽憲
