K.Tachibana: "Vacuum-ultraviolet Laser Absorption Spectroscopy for Absolute Measurement of Fluorine Atom Density in Fluorocarbon Plasmas" Appl.Phys.Lett.74・16(掲載予定). (1999)
K.Tachibana: "Vacuum-ultraviolet Laser Absorption Spectroscopy for Absolute Measurement of Fluorine Atom Density in Fluorocarbon Plasmas" Appl.Phys.Lett.74・16(掲載予定). (1999)
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K.Tachibana：“用于氟碳等离子体中氟原子密度的绝对测量的真空紫外激光吸收光谱”Appl.Phys.Lett.74・16（待出版）。
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