ダイヤモンドライクカーボン成膜用低圧高周波炭化水素プラズマの二次元流体シミュレーション
ダイヤモンドライクカーボン成膜用低圧高周波炭化水素プラズマの二次元流体シミュレーション
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低压高频碳氢等离子体二维流体模拟类金刚石碳膜沉积
DOI：
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发表时间：
2016
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
大木一真，小田昭紀
中科院分区：
文献类型：
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作者：
A. Oda and H. Kousaka;大木一真，小田昭紀;大野祐也，小田昭紀;深井駿，大野裕也，小田昭紀;小森郷平，小田昭紀;深井駿，大野裕也，小田昭紀;大木一真，小田昭紀
