InAs/GaSb超晶格红外探测器台面的ICP刻蚀研究
InAs/GaSb超晶格红外探测器台面的ICP刻蚀研究
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DOI：
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发表时间：
2014
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
满石清
中科院分区：
文献类型：
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作者：
郭杰;郝瑞亭;赵前润;满石清
