デュアルAFM探針中空化のためのSiカンチレバー流路形成プロセスの開発
デュアルAFM探針中空化のためのSiカンチレバー流路形成プロセスの開発
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双 AFM 尖端中空的硅悬臂梁通道形成工艺的开发
DOI：
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发表时间：
2015
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
三浦嘉隆，三品和樹，川島健太，佐藤翼，柴田隆行，峯田貴
中科院分区：
文献类型：
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作者：
T. Sasabuchi ;N. Okada ;T. Satoh;K. Koike;T. Mineta;三浦嘉隆，三品和樹，川島健太，佐藤翼，柴田隆行，峯田貴
