Modification of Color Petri Nets for modeling and designing Semiconductor Manufacturing System
Modification of Color Petri Nets for modeling and designing Semiconductor Manufacturing System
复制标题
用于半导体制造系统建模和设计的彩色 Petri 网的修改
DOI：
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发表时间：
2005
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Hiroaki Iwao
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Shunichiro Egami;Taka-aki Suzuki;Hiroaki Iwao;Hiroaki Iwao
