Mamoru,Baba: "Fabrication of Au Fine Patterns by Ar Sputter-Etching Using MoO_3 Mask" Japanese Journal of Applied Physics.

Mamoru,Baba: "Fabrication of Au Fine Patterns by Ar Sputter-Etching Using MoO_3 Mask" Japanese Journal of Applied Physics.
复制标题

Mamoru,Baba:“使用 MoO_3 掩模通过 Ar 溅射蚀刻制作金精细图案”日本应用物理学杂志。

DOI:
--
复制
发表时间:
--
期刊:
影响因子:
--
通讯作者:
--
中科院分区:
--
文献类型:
--
作者:

文献摘要

相似文献