DENSITY EVALUATION OF SUB-100 nm PARTICLES BY USING ELLIPSOMETRY

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使用椭圆光度法评估 100 nm 以下颗粒的密度

DOI:
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发表时间:
2017
期刊:
Proceedings of International Conference of Planarization/CMP Technology
影响因子:
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通讯作者:
Eiichi Kondoh Katsuya Suzuki Satomi Hamada Shohei Shima Hirokuni Hiyama
Eiichi Kondoh Katsuya Suzuki Satomi Hamada Shohei Shima Hirokuni Hiyama
中科院分区:
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文献类型:
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作者:
L. Jin;T. Takaguchi;E. Kondoh and B. Gelloz;安藤亮,小峰啓史;波多野陽,昊亭,王道洪,高木伸之;小峰啓史,青野友祐,村田正行,長谷川靖洋;Eiichi Kondoh Katsuya Suzuki Satomi Hamada Shohei Shima Hirokuni Hiyama

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