Pd触媒を用いたSiの気相エッチングと貫通孔形成
Pd触媒を用いたSiの気相エッチングと貫通孔形成
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使用 Pd 催化剂气相蚀刻 Si 并形成通孔
DOI：
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发表时间：
2013
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
松村道雄
中科院分区：
文献类型：
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作者：
川口遼馬;原田隆史;池田茂;松村道雄
