形状誤差予測によるマイクロレンズアレイ加工の高精度化
形状誤差予測によるマイクロレンズアレイ加工の高精度化
复制标题
通过预测形状误差提高微透镜阵列处理的精度
DOI：
--
复制
发表时间：
2020
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
佐藤祐亮，閻 紀旺
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
Mukaida Mao;Yan Jiwang;佐藤祐亮，閻 紀旺
