Plasma chemical vapor deposition of SiO_2 on Air-exposed surfaces by cold plasma torch
Plasma chemical vapor deposition of SiO_2 on Air-exposed surfaces by cold plasma torch
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冷等离子体炬在空气暴露表面等离子体化学气相沉积SiO_2
DOI：
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发表时间：
1995
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
H. KOINUMA
中科院分区：
文献类型：
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作者：
H. K. HA;K. INOMATA;H. KOINUMA
