反応性イオンエッチング法による非鉛強誘電体薄膜の微細加工技術の開発
反応性イオンエッチング法による非鉛強誘電体薄膜の微細加工技術の開発
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反应离子刻蚀法无铅铁电薄膜微细加工技术的开发
DOI：
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发表时间：
2018
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
前中一介
中科院分区：
文献类型：
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作者：
松永拓也;小舟正文;菊池丈幸;神田健介;前中一介
