基板側面へのインプリントリソグラフィと回折格子の製作
基板側面へのインプリントリソグラフィと回折格子の製作
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基板侧面压印光刻和衍射光栅的制造
DOI：
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发表时间：
2008
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
金森義明
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Yoshiaki Kanamori;Yoshiaki Kanamori;金森義明
