Surface activation of Au films using vacuum ultraviolet irradiation for low-temperature bonding in air
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利用真空紫外辐射对金膜进行表面活化，用于空气中的低温键合
DOI：
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发表时间：
2019
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Haruichi Kanaya
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Ryo Takigawa;Haruichi Kanaya
