M.Niwano, K.Kinashi, K.Saito, N.Miyamoto, and K.Honma: ""UV-Induced Deposition of SiO_2 Film from TEOS Spin-coated on Si"" J.Electrochem. Soc.(in press). (1994)
M.Niwano, K.Kinashi, K.Saito, N.Miyamoto, and K.Honma: ""UV-Induced Deposition of SiO_2 Film from TEOS Spin-coated on Si"" J.Electrochem. Soc.(in press). (1994)
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M.Niwano、K.Kinashi、K.Saito、N.Miyamoto 和 K.Honma：“从 TEOS 旋涂在 Si 上紫外诱导沉积 SiO_2 薄膜”J.Electrochem。
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