高周波インパルスプラズマCVDによる微細ガラス管内MgO薄膜の生成
高周波インパルスプラズマCVDによる微細ガラス管内MgO薄膜の生成
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高频脉冲等离子体 CVD 在细玻璃管中生成 MgO 薄膜
DOI：
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发表时间：
2009
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
樫村透
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Hattori;K. H.;Wallis;S.R.;Enami;M. and Mizukami;T.;小野秀樹;水上知行;樫村透
