Measurement of sticking probability and sputtering yield of Au by low-energy mass selected ion beams with a quartz crystal microbalance
Measurement of sticking probability and sputtering yield of Au by low-energy mass selected ion beams with a quartz crystal microbalance
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石英晶体微天平低能质量选择离子束测量 Au 的粘附概率和溅射产率
DOI：
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发表时间：
2008
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
S. Hamaguchi
中科院分区：
文献类型：
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作者：
K. Ikuse;S. Yoshimura;M. Kiuchi;K. Hine;S. Hamaguchi
DOI：
10.1016/s0168-583x(01)01263-0
发表时间：
2002
影响因子：
1.3
作者：
D. Ratschko;D. Knolle;E. Finke;M. Gläser
通讯作者：
M. Gläser
热钨丝产生的二甲基硅烷碎片离子
DOI：
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发表时间：
2006
期刊：
Jpn. J. Appl. Phys. 45 (10B)
影响因子：
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作者：
S.Yoshimura;A.Toh;S.Sugimoto;M.Kiuchi;S.Hamaguchi
通讯作者：
S.Hamaguchi
用低能质量分离离子束沉积装置测量金沉积速率
DOI：
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发表时间：
2006
期刊：
Shinku 49(3) (in Japanese)
影响因子：
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作者：
K.Hine;S.Yoshimura;T.Maeda;M.Kiuchi;S.Hamaguchi
通讯作者：
S.Hamaguchi