Masaharu Shiratani, Kosuke Takenaka, Kazunori Koga, Yukio Watanabe: "Anisotropic deposition of Cu using plasma CVD(Invited Lecture)"Proceedings of International COE Forum on Plasma Science and Technology. 33-34 (2004)
Masaharu Shiratani, Kosuke Takenaka, Kazunori Koga, Yukio Watanabe: "Anisotropic deposition of Cu using plasma CVD(Invited Lecture)"Proceedings of International COE Forum on Plasma Science and Technology. 33-34 (2004)
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Masaharu Shiratani、Kosuke Takenaka、Kazunori Koga、Yukio Watanabe：“利用等离子体 CVD 进行 Cu 的各向异性沉积（邀请报告）”国际 COE 等离子体科学与技术论坛论文集。
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