Fabrication of reflective metalens by thermal oxidation of high-aspect-ratio silicon nanopillars
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复制标题
高纵横比硅纳米柱热氧化制备反射超透镜
DOI：
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发表时间：
2022
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Yoshiaki Kanamori
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Taiyu Okatani;Yuya Naito;Yoshiaki Kanamori
