レーザーCVD法により合成したTiON膜の微細構造に与える合成条件の影響
レーザーCVD法により合成したTiON膜の微細構造に与える合成条件の影響
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合成条件对激光CVD法合成TiON薄膜微观结构的影响
DOI：
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发表时间：
2010
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Takashi Goto
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Akihiko Ito;H.Joo;Takashi Goto
