X線トポグラフ法によるGaN結晶の断面試料の評価(2)

X線トポグラフ法によるGaN結晶の断面試料の評価(2)
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使用X射线形貌法评估GaN晶体的横截面样品(2)

DOI:
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发表时间:
2016
期刊:
影响因子:
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通讯作者:
秋本晃一
秋本晃一
中科院分区:
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文献类型:
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作者:
北野祐子;宮川理子;井上絵美子;秋本晃一

文献摘要

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