Mass Spectrometric Study on Hydrocarbon Plasmas for Diamond-Like Carbon Coating
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复制标题
类金刚石碳涂层碳氢等离子体的质谱研究
DOI：
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发表时间：
2015
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
H. Kousaka and T. Ohta
中科院分区：
文献类型：
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作者：
A. Oda;S. Fukai;H. Kousaka and T. Ohta
