Ultraprecision surface grinding of chemical vapor deposited silicon carbide for X-ray mirrors using resinoid bonded diamond wheels
Ultraprecision surface grinding of chemical vapor deposited silicon carbide for X-ray mirrors using resinoid bonded diamond wheels
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使用树脂结合剂金刚石砂轮对 X 射线镜用化学气相沉积碳化硅进行超精密表面磨削
DOI：
10.1016/s0007-8506(07)63183-7
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发表时间：
1999
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
N. Taniguchi
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Y. Namba;H. Kobayashi;H. Suzuki;K. Yamashita;N. Taniguchi
