膜形成後に真空チャンバ内へ乾燥ガスを導入して作製した二硫化モリブデンスパッタ膜の大気中での潤滑特性(4)-アルゴン分圧の影響-
膜形成後に真空チャンバ内へ乾燥ガスを導入して作製した二硫化モリブデンスパッタ膜の大気中での潤滑特性(4)-アルゴン分圧の影響-
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成膜后向真空室内导入干燥气体而形成的二硫化钼溅射膜在气氛中的润滑性(4) - 氩分压的影响 -
DOI：
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发表时间：
2008
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
松田健次
中科院分区：
文献类型：
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作者：
池田満昭;小熊清典;兼田〓宏;松田健次
