多源スパッタ法により作製したTi-SiOx多層薄膜の自己伝播発熱反応挙動
多源スパッタ法により作製したTi-SiOx多層薄膜の自己伝播発熱反応挙動
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多源溅射法制备Ti-SiOx多层薄膜的自蔓延放热反应行为
DOI：
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发表时间：
2016
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
井上尚三，井上敬太，金築俊介，三宅修吾，生津資大
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Fumie Hirosawa;Tomohiro Iwasaki;Satoru Watano;井上尚三，井上敬太，金築俊介，三宅修吾，生津資大
