A new chemo-mechanical slurry for close-to-atomic scale polishing of LiNbO3 crystal
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DOI：
10.1016/j.cirp.2023.04.076
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发表时间：
2023-07-13
影响因子：
4.1
通讯作者：
Li，Lin
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Guo，Jiang;Shi，Haohao;Li，Lin
