静電場中で噴射・飛翔制御された微細液滴の重畳による薄膜成膜

静電場中で噴射・飛翔制御された微細液滴の重畳による薄膜成膜
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通过在静电场中控制喷雾和飞行的细小液滴的叠加形成薄膜

DOI:
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发表时间:
2009
期刊:
機械学会論文集B Vol.75, No.757
影响因子:
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通讯作者:
多田,西浦,川本
多田,西浦,川本
中科院分区:
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文献类型:
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作者:
吉藤寿高;佐藤文博;松木英敏;他;多田,西浦,川本

文献摘要

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