Amorphous carbon film deposition by PBII＆D using shunting arc discharge-猫眼课题宝

分流电弧放电 PBII＆D 沉积非晶碳膜

DOI：

发表时间：

2006

期刊：

NUCLEAR INSTRUMENTS ＆ METHODS IN PHYSICS RESEARCH SECTION B-BEAM INTERACTIONS WITH MATERIALS AND ATOMS 242 (1-2)

影响因子：

通讯作者：

中科院分区：

文献类型：

作者：

Yukimura K;Ego K;Takaki K;Fujiwara T;et al.