宮野竜一: "真空アーク蒸着装置用エンハンストアーク型イオン源の製作" 平成5年度電気関係学会東海支部連合大会講演論文集. 15 (1993)
宮野竜一: "真空アーク蒸着装置用エンハンストアーク型イオン源の製作" 平成5年度電気関係学会東海支部連合大会講演論文集. 15 (1993)
复制标题
Ryuichi Miyano:“真空电弧蒸发设备的增强型电弧离子源的制造”1993 年电气工程学会东海分会会议记录 15 (1993)。
DOI:
--
复制
发表时间:
--
期刊:
影响因子:
--
通讯作者:
中科院分区:
文献类型:
--
作者: