部分窒化無酸素無炭素チタン蒸着を用いた非蒸発型ゲッターポンプの開発
部分窒化無酸素無炭素チタン蒸着を用いた非蒸発型ゲッターポンプの開発
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采用部分氮化无氧、无碳钛气相沉积技术开发非蒸发式吸气泵
DOI：
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发表时间：
2023
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
大野真也
中科院分区：
文献类型：
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作者：
間瀬一彦;吉田圭佑;菊地貴司;大野真也
