ガラス基板上の多結晶シリコン薄膜トランジスタの高性能化・高機能化

ガラス基板上の多結晶シリコン薄膜トランジスタの高性能化・高機能化
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提高玻璃基板上多晶硅薄膜晶体管的性能和功能

DOI:
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发表时间:
2017
期刊:
応用物理
影响因子:
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通讯作者:
原明人
原明人
中科院分区:
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文献类型:
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作者:
三橋龍一;福本義隆;佐々木正巳;青木由直;原明人

文献摘要

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