強磁場スパッタ法によるマンガン窒化物薄膜の作製
強磁場スパッタ法によるマンガン窒化物薄膜の作製
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强磁场溅射法制备氮化锰薄膜
DOI：
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发表时间：
2016
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
松本利希，川口昂彦，畑野敬史，原田俊太，飯田和昌，宇治原徹，生田博志
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Nobuki Tezuka;Tatsuya Saito;Masashi Matsuura and Satoshi Sugimoto;松本利希，川口昂彦，畑野敬史，原田俊太，飯田和昌，宇治原徹，生田博志
