Fabrication of Shape-Controlled GaN High-aspect Fine-nano-hole Arrays by Hydrogen Environment Anisotropic Thermal Etching (HEATE)
Fabrication of Shape-Controlled GaN High-aspect Fine-nano-hole Arrays by Hydrogen Environment Anisotropic Thermal Etching (HEATE)
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通过氢环境各向异性热刻蚀 (HEATE) 制造形状控制的 GaN 高深宽细纳米孔阵列
DOI：
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发表时间：
2021
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
and Kentaro Kinoshita
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Akihiko Kikuchi;Koki Abe;Yusei Kawasaki;Daichi Ito;Yuta Moriya;and Kentaro Kinoshita
