Design, Fabrication and Operation of a Micromachined Tunneling Control Unit
Design, Fabrication and Operation of a Micromachined Tunneling Control Unit
复制标题
微机械隧道控制单元的设计、制造和操作
DOI：
10.1541/ieejsmas.116.339
复制
发表时间：
1996
影响因子：
--
通讯作者：
H. Fujita
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
D. Kobayashi;H. Fujita
