多段階成長を用いた微小領域選択MOVPEにおけるSi上InGaAsマイクロディスク形状の面内均一化向上
多段階成長を用いた微小領域選択MOVPEにおけるSi上InGaAsマイクロディスク形状の面内均一化向上
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使用多步生长提高微区域选择性 MOVPE 中 Si 上 InGaAs 微盘形状的面内均匀性
DOI：
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发表时间：
2009
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
杉山正和
中科院分区：
文献类型：
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作者：
出浦桃子;近藤佳幸;星井拓也;竹中充;高木信一;中野義昭;杉山正和
