永田貴之,高谷裕浩,三好隆志: "光逆散乱位相法による微細形状の測定法に関する研究-測定実験による検証-" 1994年度精密工学会春季大会学術講演論文集. 東京. 471-472 (1994)
永田貴之,高谷裕浩,三好隆志: "光逆散乱位相法による微細形状の測定法に関する研究-測定実験による検証-" 1994年度精密工学会春季大会学術講演論文集. 東京. 471-472 (1994)
复制标题
Takayuki Nagata、Hirohiro Takatani、Takashi Miyoshi：“使用光学逆散射相位法的精细形状测量方法的研究 - 通过测量实验进行验证 -”1994 年日本精密工程学会春季会议记录，东京 471-472（ 1994））
DOI：
--
复制
发表时间：
--
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
