アクチュエータ内蔵型マイクロ多分岐切換バルブチップの開発
アクチュエータ内蔵型マイクロ多分岐切換バルブチップの開発
复制标题
内置执行机构微型多支路切换阀芯片的研制
DOI：
--
复制
发表时间：
2006
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
生田幸士
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
尾松史之;長谷川忠大;生田幸士
