Si衬底上低真空热处理制备单一相Mg2Si半导体薄膜
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DOI：
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发表时间：
2013
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
陈茜
中科院分区：
文献类型：
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作者：
谢泉;沈向前;张晋敏;陈茜
