Development and Performance Evaluation of Planar Nano- Motion Table System
Development and Performance Evaluation of Planar Nano- Motion Table System
复制标题
平面纳米运动台系统的开发和性能评估
DOI：
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发表时间：
2006
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
H.
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Yoshioka;H.;Shinno;H.
