Evaluation of Fracture and Fatigue Strength of Single-Crystal Silicon Microelements and Influence of Water.
Evaluation of Fracture and Fatigue Strength of Single-Crystal Silicon Microelements and Influence of Water.
复制标题
单晶硅微元的断裂和疲劳强度评价及水的影响。
DOI:
10.1299/kikaia.62.978
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发表时间:
1996
期刊:
影响因子:
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通讯作者:
H. Fujii
中科院分区:
文献类型:
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作者:
K. Komai;K. Minoshima;Shigemichi Inoue;H. Fujii