軸状集光ビームを用いたマイクロドリル加工におけるダメージの低減
軸状集光ビームを用いたマイクロドリル加工におけるダメージの低減
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使用轴向聚焦光束减少微钻孔中的损伤
DOI：
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发表时间：
2007
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
河野正道ら
中科院分区：
文献类型：
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作者：
北川石英;小菅桂太;内田健司;萩原良道;河野正道ら
