Electrical properties of metal-polymer (polysiloxane)-silicon structures and application of polysiloxane to the passivation of semiconductor devices
Electrical properties of metal-polymer (polysiloxane)-silicon structures and application of polysiloxane to the passivation of semiconductor devices
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金属-聚合物（聚硅氧烷）-硅结构的电学性能及其在半导体器件钝化中的应用
DOI：
10.1016/0040-6090(76)90586-1
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发表时间：
1976
期刊：
影响因子：
2.1
通讯作者：
A. Bui
中科院分区：
文献类型：
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作者：
M. Maisonneuve;Y. Segui;A. Bui
